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Silane 硅烷 (SiH4)



Silane 硅烷 (SiH4)                          

Total Purity 纯度:>99.9999%

Vapor Phase Impurities

气相杂质

Contaminants

杂质

 

Specifications (ppmv)

规格

Ar

Argon 氩气

<0.05

Total Chlorosilane

Total Chlorosilane 总氯硅烷

<0.15

Disilane

Disilane 乙硅烷

<0.5

He

Helium 氦气

<1

O2

Oxygen 氧气

<0.05

N2

Nitrogen 氮气

<1

H2

Hydrogen 氢气

<20

CO

Carbon Monoxide 一氧化碳

<0.05

CO2

Carbon Dioxide 二氧化碳

<0.05

CH4

Methane 甲烷

<0.05

Carbon

Carbon

<0.2 ppma

Disiloxane

Disiloxane 二硅氧烷

<0.5

Methylsilane

Methylsilane 甲基硅烷

<0.5

Al

Aluminium

<0.005 ppba

Sb

Antimony

<0.005 ppba

As

Arsenic

<0.005 ppba

B

Boron

<0.02 ppba

Ca

Calcium

<10 ppba

Ga

Gallium

<0.005 ppba

In

Indium

<0.005 ppba

P

Phosphorus

<0.02 ppba

K

Potassium

<10 ppba

Na

Sodium

<5 ppba

Cr+Cu+Fe+Ni+Zn

++++

<1 ppba

H2O

Moisture

<0.5

Resistivity

Resistivity 电阻系数

>10000 ohm-cm

 

Standard Package Information

包装规格

Cylinder Type气瓶规格

47ℓ,  Ton-cylinder,  20ft ISO-Container,  40ft ISO-Container

Fill Weight充装量 (kg)

10,    100 ,          2000 ,               4000

Valve Connection 阀门(CGA)

JIS 22L,  CGA 632,  CGA350

Silane 硅烷 (SiH4) 2011-10-20 本文被阅读 4736 次
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